二、材質體系（重中之重，直接決定純度）

1. 塔體 / 筒體 / 封頭 / 管道 / 閥門

• ：高純模壓 PFA 一體成型

  低離子析出（＜18μg/L）、透明可視、耐 HF 長期高溫負壓，無內襯接縫、無滲漏，長期使用不蠕變，滿足 G4/G5 超高純要求。

• 經濟型：改性 PTFE（膨體四氟）

  成本更低，適合 G2/G3 量產，密封、填料、墊片通用；高溫穩定性弱于 PFA。

• 禁用：304/316 不銹鋼、哈氏合金、石英、普通 PP/PE，HF 會腐蝕析出 Fe、Cr、Ni、Si 等重金屬污染成品。

2. 塔內件（填料 / 分布器 / 支撐）

1. 填料：PFA 鮑爾環、PFA 階梯環、PTFE 規整填料；可選 SiC 碳化硅填料（親液好、分離效率高，加工成本高）。

2. 液體分布器、再分布器、支撐柵板：整體 PFA 注塑，防壁流、保證氣液均勻接觸。

3. 回流頭、視盅、流量計：全 PFA 內襯，無金屬接觸。

3. 配套換熱設備（再沸器、冷凝器）

• 再沸器：沉浸式 PFA 管束換熱器，熱媒走管外，HF 隔離金屬；

• 冷凝器：PFA 列管冷凝，配套獨立閉式低溫冷水機組（14~20℃恒溫），全密閉冷凝回收 HF 蒸汽。

三、塔結構分段（減壓亞沸精餾專用）

1. 整體三段式：提餾段 + 精餾段 + 回流段

1. 塔釜（提餾段）

   內置 PFA 沉浸式加熱管束，負壓低溫亞沸汽化；高沸雜質（重金屬、硫酸鹽、硅化物）富集釜底定期排放；僅提餾段設置 PFA 手孔，其余段無開孔減少污染點。

2. 中部精餾段

   多層規整 / 散堆 PFA 填料，理論塔板數 40~80 層；氣液逆流接觸分離輕重雜質；配套多級液體再分布，消除壁流降低分離效率損失。

3. 塔頂回流段

   塔頂氣相進入 PFA 冷凝器冷凝，冷凝液經高精度PFA 回流比控制器分兩路：一路回流入塔內，一路采出高純 HF；回流比可調 2~8，G5 級高純度工況回流比 4~6。

2. 塔頂均流防夾帶結構