一、產品定義

1. 全惰性無金屬流路：所有接觸物料、蒸汽部件無不銹鋼、碳鋼、銅等金屬，從源頭杜絕金屬離子溶出污染；

2. 亞沸低溫汽化精餾：物料低于沸點表層溫和揮發，無沸騰霧沫夾帶，物理截留重金屬、微粒雜質。

   產出試劑穩定達到 UP/UPSS 電子級，適配芯片清洗、濕法刻蝕、ICP-MS 痕量分析等高潔凈場景。

二、核心工作原理

1. 亞沸分離（杜絕霧沫夾帶雜質）

2. 無金屬析出材質保障（核心 “無金屬" 邏輯）

• 高純熔融石英（SiO?≥99.999%）：熱穩定性強，金屬本底極低（Fe/Cu＜0.01ppb），適配高溫、有機溶劑體系；

• 高純 PFA 全氟塑料：一體模壓成型，耐、濃強酸，表面光滑低吸附，無金屬填料析出，適配 HF、高純酸提純。

  配套管件、填料、閥門、收集罐全部匹配石英 / PFA，無金屬內襯、金屬接頭、金屬測溫探頭；液位采用非接觸式紅外傳感，避免金屬探針浸入物料污染。

3. 多級精餾強化提純

• 熱敏物料：負壓低溫精餾，防止高溫分解；

• 強腐蝕強酸：全程氮氣隔絕空氣，避免氧化雜質生成；

  單級提純金屬雜質降至 ppb 級，多級串聯可穩定實現 ppt 級超高純介質。

三、整機模塊化結構（全套無金屬）

1. 低溫恒溫汽化單元：PFA / 石英蒸發釜、非接觸輻射加熱、PID 精準溫控；

2. 無金屬精餾塔單元：石英 / PFA 塔體、惰性規整填料、全氟回流比控制器；

3. 分級冷凝收集單元：PFA / 石英冷凝盤管、分段梯度冷卻、潔凈成品儲罐；

4. 惰性保護 / 真空單元：PTFE 管路真空機組、氮氣穩壓密封系統；

5. 智能自控單元：觸摸屏、無金屬液位監測、自動進料 / 采出 / 排殘、過熱干燒保護；

6. 殘液排污單元：全 PFA 三通閥，自動分離重金屬富集殘液，定期外排。