一、系統(tǒng)定義

二、整套系統(tǒng)核心組成單元

1. 原料預(yù)處理單元

• 原料緩沖儲(chǔ)罐：EP316L/904L 不銹鋼，氮?dú)饷荛]保護(hù)；

• 預(yù)過(guò)濾機(jī)組：多級(jí) PTFE 精密濾芯，攔截固體顆粒、膠質(zhì)雜質(zhì)；

• 預(yù)熱減壓模塊：低溫預(yù)熱，負(fù)壓降低沸點(diǎn)，避免熱敏物料高溫降解；

• 進(jìn)料計(jì)量輸送：隔膜計(jì)量泵，無(wú)金屬溶出，流量精準(zhǔn)閉環(huán)調(diào)節(jié)。

2. 多級(jí)精餾主塔組（核心分離段）

1. 塔體主流材質(zhì)（無(wú) HF，無(wú)需 PFA 內(nèi)襯）

• EP 電解拋光 316L/904L / 哈氏合金 C276：醇類(lèi)、酮類(lèi)、酯類(lèi)、硝酸、鹽酸、各類(lèi)有機(jī)清洗溶劑；內(nèi)壁 Ra≤0.2μm，全自動(dòng)軌道氬弧焊，氦質(zhì)譜檢漏；

• 高純石英精餾柱：實(shí)驗(yàn)室小批量超高純?cè)噭┚疲涮讈喎泄r。

2. 塔內(nèi)潔凈傳質(zhì)構(gòu)件

   低持液 EP 金屬波紋填料、多級(jí)液體分布再分布器、三級(jí)復(fù)合除沫捕集裝置，抑制霧沫夾帶，阻斷重金屬氣溶膠上行污染成品。

3. 塔釜換熱系統(tǒng)

   夾套負(fù)壓換熱、EP 管殼式再沸器，低溫減壓操作，適配易氧化、易分解熱敏濕化學(xué)品。

3. 塔頂回流精密控制單元

4. 亞沸深度精制單元（先進(jìn)制程標(biāo)配）

5. 超凈成品收集與儲(chǔ)存單元

• EP 不銹鋼高純采出管路、無(wú)金屬隔膜閥、FFKM 全氟密封墊片；

• 終端 0.05μm 超純過(guò)濾器，攔截微量顆粒；

• 潔凈成品儲(chǔ)罐，氮?dú)馕⒄龎焊艚^空氣粉塵、水汽；殘液密閉回收系統(tǒng)，無(wú)揮發(fā)外泄。

6. 真空惰性保護(hù)系統(tǒng)

7. DCS 全自動(dòng)智能控制系統(tǒng)（半導(dǎo)體專(zhuān)用）

• 溫度精度 ±0.1℃、壓力 ±0.01kPa、流量閉環(huán)控制；

• 在線(xiàn)監(jiān)測(cè)模塊：TOC、水分、微量金屬取樣口、顆粒在線(xiàn)檢測(cè)；

• 聯(lián)鎖保護(hù)：超溫、超壓、真空泄漏、低液位自動(dòng)停機(jī)報(bào)警；

• 全自動(dòng)連續(xù)進(jìn)料、自動(dòng)回流調(diào)節(jié)、自動(dòng)分餾采出、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)溯源，滿(mǎn)足半導(dǎo)體工廠(chǎng) GMP 潔凈管控要求。

三、核心潔凈性能標(biāo)準(zhǔn)（SEMI）

1. 單種金屬雜質(zhì)（Na、K、Fe、Cu、Al、Zn 等）≤0.1ppb，制程≤1ppt；

2. ≥0.5μm 液體顆粒＜2 個(gè) /mL；

3. TOC、陰陽(yáng)離子、非金屬雜質(zhì)嚴(yán)格管控；

4. 設(shè)備出廠(chǎng) Class1000 潔凈車(chē)間裝配，出廠(chǎng)前超純水、高純異丙醇循環(huán)鈍化清洗；

5. 接觸介質(zhì)部件統(tǒng)一采用 EP 不銹鋼、PTFE、FFKM 全氟密封件，無(wú)普通碳鋼、黃銅。